MEMSの紹介

他の一部の業界では、マイクロエレクトロメカニカルシステム(EMES)が広く使用されていることは新しいことではありませんが、通信アプリケーションへの採用は比較的最近のことです。

従来のMEMSは、小さな鏡の表面からの光線を反射することで機能します。MEMSシステムには可動部品があり、ミラーが移動する速度には制限があります。より多くの電流を印加すると、ミラーはより速く移動できますが、ミラーの配列に送ることができる電流の量には制限があります。これだけでは不十分ですが、必要な電流の計算における速度と角変位の項は、約4または5の整数の累乗を持っているように思われます。したがって、要するに、速度を少し改善するためには、アレイに大量の電流を流す必要があるということです。光が曲がる角度が小さくなるようにミラーのデザインを変更することで、スイッチング速度を高速化することができます。この手法は「高速MEMS」として知られています。