MEMS入門

他のいくつかの業界で微小電気機械システム(EMES)が広く使用されていることは新しいことではありませんが、通信アプリケーションへの採用は比較的最近のことです。

従来のMEMSは、小さな鏡の表面からの光線を反射することによって機能します。MEMSシステムには可動部品があり、ミラーが移動する速度は制限されています。より多くの電流を印加することで、ミラーはより速く移動できますが、ミラーのアレイに送ることができる電流の量には制限があります。これが十分に悪くなければ、必要な電流の計算における速度と角変位の項は約4または5の整数乗を持っているように見えるので、肝心なのは、速度を少し改善するためにアレイに多くの電流を入れる必要があるということです。光が曲がる角度を小さくするようにミラーのデザインを変更することで、より高速なスイッチング速度を実現できます。この手法は「高速MEMS」として知られています。