What is a MEMS Optical Switch?

MEMS光スイッチとは

MEMS光スイッチは、シリコン結晶に多数の小さなミラーを彫刻します。静電気力または電磁力の作用により、マイクロミラーアレイが回転し、それによって入力光の伝搬方向が変化して、光路のオン/オフ機能を実現します。MEMS光スイッチは、外部制御情報とそれに対応するハイレベルとローレベルを介して光波のルーティングを切り替えて、内部マイクロミラーを持ち上げるかどうかを制御します。 

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広西チワン族自治区CORERAYの光通信の技術Co.、株式会社は光通信のための受動部品の生産を専門にする企業である。同社は、レーザー通信受動デバイス製造技術の大規模な応用に取り組んでいます。

主に機械式光スイッチ、ソリッドステート光スイッチ、大型ポート光スイッチ、小型光スイッチ、光スイッチ、光フィルター、MEMS光スイッチなどを提供しています。

 

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MEMSスイッチオプティカル

MEMSは微小電気機械システムです。マイクロメカニカル構造が製造された後は、電子技術によって駆動する必要があります。代表的な駆動機構には、静電吸引力、電磁力、電歪、熱電対などがあります。MEMSデバイスのすべての駆動機構の中で、静電吸着構造は、製造が簡単で、制御が容易で、低消費電力であるため、最も広く使用されています。

よくある質問

ご不明な点がございましたら、

MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)とは、マイクロマシン、マイクロアクチュエータ、信号処理、制御回路を統合した量産型のマイクロデバイスまたはシステムを指します。マイクロメカニカル構造の準備プロセスには、フォトリソグラフィー、イオンビームエッチング、化学エッチング、ウェーハ接合などがあり、電子制御用の機械構造上に電極を準備します。

複雑な可動式3D機械構造を備えたMEMS光スイッチ、マイクロアクチュエータ、およびマイクロ光学素子は、集積回路業界で確立された製造プロセスを使用して、同じ基板上にモノリシックに集積できます。

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